IOT 1300

Verfahrenseinordung Vakuum-Bogen-Verdampfen (Arc)
Beschichtungsquellen 4 Doppelverdampfer 63 mm rund mit je 100 A DC
Targetmaterial (vorhanden) AlTi, Cr, Ti, Zr
Betriebs und Reaktionsgase Argon, Stickstoff, Sauerstoff, Acetylen
BIAS bis 1.250 V, 30 kW
Substratführung 2-fach Rotation
maximale Substratabmessung bei 2-fach Rotation d x h = 160 mm x 900 mm
maximale Substratabmessung bei Einfachrotation d x h = 600 mm x 900 mm

Ansprechpartner

Dipl.-Ing. (FH)
Matthias Herrmann
Institut für Oberflächentechnik
Standort 02763 Zittau
F-Schneider-Straße 26
Gebäude Z IX, Raum 002
+49 3583 612-4807
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