IOT 900

Verfahrenseinordnung Magnetron Sputtern
Beschichtungsquellen 2 Magnetrons, 150mm rund mit jeweils 2 kW DC und DC gepulst
Targetmaterial (vorhanden) C, Cr, Cu, Mg, Nb, Ti, V2A, V4A, Zr
Betriebs und Reaktivgase Argon, Stickstoff, Sauerstoff, Acetylen
BIAS bis 300V LV Mode / 1200 V HV Mode / 2 kW
Substratführung 2-fach Rotation
maximale Substratabmessung bei 2-fach Rotation d x h = 100mm x 100 mm
maximale Substratabmessung bei Einfachrotation d x h = 300mm x 10mm

Ansprechpartner

Dipl.-Ing. (FH)
Matthias Herrmann
Institut für Oberflächentechnik
Standort 02763 Zittau
F-Schneider-Straße 26
Gebäude Z IX, Raum 002
+49 3583 612-4807
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