Ultra S 150

Verfahreinordnung	Magnetro Sputtern
Beschichtungsquellen	1 Magnetron 50mm 40 W DC gepulst
Tragetmaterial (vorhanden)	Ag, Au, Ti, Cu, CuFe, PtRh 90/10
Betriebs und Reaktivgase	Argon
BIAS	keine
Substratführung	statisch
Substratabmessung (maximal)	d x h = 50mm x 10mm

DC- Sputteranlage

Ansprechpartner

Dipl.-Ing. (FH)

Matthias Herrmann

m.herrmann(at)hszg.de

Institut für Oberflächentechnik

Standort 02763 Zittau

F-Schneider-Straße 26

Gebäude Z IX, Raum 002

+49 3583 612-4807