Ultra S 150
| Verfahreinordnung | Magnetro Sputtern |
| Beschichtungsquellen | 1 Magnetron 50mm 40 W DC gepulst |
| Tragetmaterial (vorhanden) | Ag, Au, Ti, Cu, CuFe, PtRh 90/10 |
| Betriebs und Reaktivgase | Argon |
| BIAS | keine |
| Substratführung | statisch |
| Substratabmessung (maximal) | d x h = 50mm x 10mm |
Ansprechpartner
Dipl.-Ing. (FH)
Matthias Herrmann
Institut für Oberflächentechnik
F-Schneider-Straße 26
Gebäude Z IX,
Raum 002
