Ultra S 150

Verfahreinordnung Magnetro Sputtern
Beschichtungsquellen 1 Magnetron 50mm 40 W DC gepulst
Tragetmaterial (vorhanden) Ag, Au, Ti, Cu, CuFe, PtRh 90/10
Betriebs und Reaktivgase Argon
BIAS keine
Substratführung statisch
Substratabmessung (maximal) d x h = 50mm x 10mm

Ansprechpartner

Dipl.-Ing. (FH)
Matthias Herrmann
Institut für Oberflächentechnik
Standort 02763 Zittau
F-Schneider-Straße 26
Gebäude Z IX, Raum 002
+49 3583 612-4807
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